2026年7月28日,首尔——韩国半导体设备巨头韩美半导体(Hanmi Semiconductor)宣布与荷兰光刻机龙头ASML达成战略合作,共同开发面向高带宽存储器(HBM)生产的下一代热压键合(TCB)设备。这一消息迅速引发行业关注,被视为全球先进封装设备领域的一次重要整合,也为亚洲半导体供应链格局增添了新的变量。
HBM需求井喷,键合设备成瓶颈
随着AI大模型和高性能计算对带宽需求的指数级增长,HBM已成为存储芯片领域最炙手可热的品类。第三代HBM3E和即将量产的HBM4对堆叠层数、散热效率和互连密度提出了更高要求,而热压键合技术正是实现多层DRAM裸片精准堆叠的关键环节。目前,全球TCB设备市场主要由日本厂商(如芝浦机械、东京电子)和少数欧美企业主导,韩系设备商虽在封装领域有积累,但在高端TCB设备上仍存在短板。
韩美半导体此次与ASML联手,旨在将ASML在精密光刻平台上的运动控制与对准技术与韩美在热压键合工艺方面的经验相结合,开发出适用于HBM大规模量产的高产出设备。据韩美半导体CEO金荣洙透露,新设备目标键合精度优于±1.5微米,每小时产出(UPH)较现有设备提升30%以上,预计2027年上半年向主要存储客户交付样机。
ASML的策略:从光刻向封装延伸
作为全球唯一能供应EUV光刻机的企业,ASML此次涉足封装设备领域,被分析人士解读为“向上游应用场景的一次精准卡位”。ASML高级副总裁彼得·范德·韦斯特表示:“先进封装正在成为超越摩尔定律的重要路径,而键合工艺对对准精度的要求与光刻机有诸多共通之处。我们相信与韩美的合作能释放HBM制造的更大潜力。”
此举也反映出ASML正在寻求光刻之外的多元化增长点。2026年第二季度财报显示,ASML营收同比下降8%,主要因为存储客户缩减了EUV订单,但先进封装设备需求却逆势增长12%。通过切入TCB设备,ASML可以将其精密平台技术授权或直接集成到封装产线中,进一步巩固其在半导体制造生态中的核心地位。
韩国加速先进封装本土化
韩国是全球存储芯片制造重镇,三星电子和SK海力士在HBM市场占据主导地位。然而,长期以来两国企业在关键封装设备上高度依赖日本和欧美供应商。2025年以来,韩国政府将先进封装列为国家核心技术,并投入1.2万亿韩元(约合9.3亿美元)用于设备国产化研发。韩美半导体与ASML的合作,正是这一战略下的典型成果。
行业观察人士指出,韩国正试图在封装设备领域复制其“存储芯片垂直整合”的成功模式:通过与国际领先设备商合资或合作,获取核心技术后吸收再创新,最终形成自主可控的供应链。此前,韩美半导体已成功量产HBM堆叠用的微凸块键合设备,此次在TCB领域的突破将补齐其产品线。
亚洲供应链博弈:合作与竞争并存
此次合作也折射出亚洲半导体供应链的新动态。一方面,日本企业在TCB设备领域实力雄厚,芝浦机械的TCB设备被三星和SK海力士广泛采用,东京电子也在积极研发下一代混合键合设备。韩美与ASML的联手,可能削弱日本企业在HBM键合环节的垄断地位。另一方面,中国大陆企业也在奋起直追,多家本土设备商已推出TCB原型机,但精度和稳定性仍有差距。
从政策层面看,美国、欧洲、日本、韩国和中国均在加大半导体供应链的本地化投入。2026年7月,美国商务部宣布将先进封装设备列入出口管制清单,限制向部分国家出口用于HBM制造的高精度键合机。韩美半导体与ASML的合作,恰好位于地缘政治的微妙节点——ASML是荷兰企业,其技术若被用于韩国设备,可能绕开部分限制,但也可能引发新一轮技术审查。
前景:HBM4量产的关键垫脚石
2026年底至2027年,三大存储原厂均计划量产HBM4。HBM4将采用2048位接口和超过10纳米级别的混合键合技术,对封装设备的精度和效率提出空前要求。韩美半导体与ASML联合开发的TCB设备,如果能够如期达到性能指标,将显著降低HBM4的生产成本并提升良率。不过,技术挑战也不容小觑:随着堆叠层数从12层提升至16层甚至20层,热管理问题和芯片翘曲控制将成为新的难点。
韩美半导体股价在消息公布后上涨12%,显示市场对此次合作的高度期待。而ASML则可能借此在封装设备领域撕开一道口子,未来不排除与更多封装设备商达成类似合作。亚洲半导体供应链,正在HBM的驱动下经历一场深刻的设备升级与格局重塑。